Influência dos parâmetros de processo na deposição de nitreto de titânio por plasma em gaiola catódica

Autores		Daudt, Natalia de Freitas
Orientador		Alves Júnior, Clodomiro
Editor		Universidade Federal do Rio Grande do Norte
Data		2012-02-27
Palavras-chave		Gaiola catódica Filmes finos de TiN Deposição por plasma Espectroscopia de emissão óptica Propriedades ópticas Cathodic cage TiN thin film Plasma deposition Optical emission spectroscopy Optical properties
Citação		DAUDT, Natalia de Freitas. Influência dos parâmetros de processo na deposição de nitreto de titânio por plasma em gaiola catódica. 2012. 142 f. Dissertação (Mestrado em Processamento de Materiais a partir do Pó; Polímeros e Compósitos; Processamento de Materiais a part) - Universidade Federal do Rio Grande do Norte, Natal, 2012.
Resumo
Abstract
URI		https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/12735

Coleções	PPGCEM - Mestrado em Ciência e Engenharia de Materiais

Arquivos

Agora exibindo 1 - 1 de 1