Desenvolvimento e caracterização de dispositivos para reposição de filmes finos por descarga em cátodo oco
| Autores | Araújo, Francisco Odolberto de | |
|---|---|---|
| Orientador | Alves Júnior, Clodomiro | |
| Editor | Universidade Federal do Rio Grande do Norte | |
| Data | 2006-12-15 | |
| Palavras-chave | Filmes finos Substrato de silício Cátodo oco Processo sol-gel Gaiola ionizante Films Silicon substrates Hollow cathode Sol-gel process Ionizing cage | |
| Citação | ||
| Resumo | ||
| Abstract | ||
| URI | https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/16640 | |
| Coleções | PPGFIS - Doutorado em Física |
|---|
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