Estudo comparativo de filmes finos de ZnO:Al e ZnO:Al:Ti depositados por magnetron sputtering e cátodo oco

Autores		Queiroz, José César Augusto de
Orientador		Costa, Thercio Henrique de Carvalho
Editor		Universidade Federal do Rio Grande do Norte
Data		2020-08-24
Palavras-chave		Filmes finos Magneton Sputtering Cátodo oco AZO TAZO Cálculo ab initio
Citação		QUEIROZ, José César Augusto de. Estudo comparativo de filmes finos de ZnO:Al e ZnO:Al:Ti depositados por magnetron sputtering e cátodo oco. 2020. 239f. Tese (Doutorado em Engenharia Mecânica) - Centro de Tecnologia, Universidade Federal do Rio Grande do Norte, Natal, 2020.
Resumo
Abstract
URI		https://repositorio.ufrn.br/handle/123456789/30416

Coleções	PPGEM - Doutorado em Engenharia Mecânica

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