Construção de um aparato experimental para monitoramento in situ da deposição de filmes finos de titânio por magnetron sputtering

Autores		Nascimento, Igor Oliveira
Orientador		Alves Júnior, Clodomiro
Editor		Universidade Federal do Rio Grande do Norte
Data		2011-12-09
Palavras-chave		Filmes finos. Magnetron sputtering. Espectroscopia de emissão Óptica Thin Films. Magnetron Sputtering and Optical Emission Spectroscopy
Citação		NASCIMENTO, Igor Oliveira. Construction of an experimental apparatus for in situ monitoring of thin film deposition by magnetron sputtering titanium. 2011. 94 f. Dissertação (Mestrado em Processamento de Materiais a partir do Pó; Polímeros e Compósitos; Processamento de Materiais a part) - Universidade Federal do Rio Grande do Norte, Natal, 2011.
Resumo
Abstract
URI		https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/12805

Coleções	PPGCEM - Mestrado em Ciência e Engenharia de Materiais

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