Submicron fabrication by local anodic oxidation of germanium thin films

Autores		Oliveira, Alexandre Barbosa de; Ribeiro, Gilberto Medeiros; Costa, Antonio Azevedo da
Editor		IOP PUBLISHING
Data		2009-08-04
Palavras-chave		Submicron fabrication Anodic oxidation Germanium thin films
Citação		OLIVEIRA, Alexandre Barbosa de; Medeiros-Ribeiro, G ; Azevedo, A. Submicron fabrication by local anodic oxidation of germanium thin films. Nanotechnology (Bristol), v. 20, p. 345301, 2009. ISSN 1742-6596 versão online. DOI https://doi.org/10.1088/0957-4484/20/34/345301. Disponível em: https://iopscience.iop.org/article/10.1088/0957-4484/20/34/345301. Acesso em: 29 abr. 2020.
Resumo
URI		https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/28845

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