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Title: Técnicas de diagnóstico de plasma aplicadas à descarga em barreira dielétrica gerada em placas paralelas
Other Titles: Plasma diagnostic techniques applied in dielectric barrier discharge generated on parallel plates
Authors: Souza, Ivan Alves de
Keywords: Descarga em barreira dielétrica;Diagnostico de plasma;Temperatura eletrônica
Issue Date: 10-Aug-2018
Citation: SOUZA, Ivan Alves de. Técnicas de diagnóstico de plasma aplicadas à descarga em barreira dielétrica gerada em placas paralelas. 2018. 128f. Tese (Doutorado em Engenharia Mecânica) - Centro de Tecnologia, Universidade Federal do Rio Grande do Norte, Natal, 2018.
Abstract: The present work aims to obtain a better knowledge of the physical quantities of the plasma production process and how they behave through the parameters adopted in the process. For this purpose, three characterization techniques were used. The first one was Optical Emission Spectroscopy (OES), a tool for the diagnosis of plasma, and it was possible to identify the excited species present in the plasma produced. The second technique used was the method of the Lissajous Figures, this technique is effective and accurate for a complete electrical characterization of DBD equipment. The third, known as the Langmuir probe technique used to obtain data of electronic temperature, ion density and electron density. The electronic temperature measured in diffuse and filament DBD regimes were 20.69 eV and 27.96 eV, respectively. However, the density of the electrons had the opposite behavior, presenting higher value for the diffuse, 1.56x 1021m-3 , and the value found for the filament regime was 1.09x1021m-3 , these values were in agreement with the active species generated within the plasma as well as the spectral intensity. Confronting these values with the electric ones obtained by the Lissajous Figures, a complete characterization of the produced plasma was possible.
Portuguese Abstract: O presente trabalho se propôs a obter um maior conhecimento das grandezas físicas do processo de produção de plasma e de como estes se comportam mediante os parâmetros adotados no processo. Para este fim foram utilizadas três técnicas de caracterização. A primeira foi Espectroscopia de Emissão Óptica (EEO) uma ferramenta para o diagnóstico de plasma, sendo possível com ela identificar as espécies excitadas presentes no plasma produzido. A segunda técnica usada foi o método das Figuras de Lissajous, essa técnica é eficaz e precisa para uma completa caracterização elétrica de equipamentos DBD. A terceira, conhecida como técnica de sonda de Langmuir usada para obter dados de temperatura eletrônica, densidade de íons e densidade do número de elétrons. A temperatura eletrônica medida nos regimes DBD difuso e filamentar, foram 20,69 eV e 27,96 eV, respectivamente. Entretanto, a densidade de elétrons teve o comportamento inverso, apresentando valor maior para o difuso, 1,56x 1021m-3 , já o valor encontrado para o regime filamentar foi de 1,09x1021m-3 , estes valores foram condizentes com a espécies ativas geradas no interior do plasma bem como a intensidade espectral. Confrontando estes valores com os elétricos obtidos pelas Figuras de Lissajous foi possível uma completa caracterização do plasma produzido.
URI: https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/26081
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