Estudo de deposição de filmes finos em plasmas de Ar/Ar-H2 em regiões de pós-descarga de catodo oco

Autores Silva, Bruno Felipe Costa da; Santos, Edson José da Costa; Almeida, Edalmy Oliveira de; Guerra, Paulo Victor de Azevedo; Hékis, Hélio Roberto; Coutinho, Karilany Dantas; Alves Júnior, Clodomiro; Guerra Neto, Custódio Leopoldino de Brito
Editor

Revista Brasileira de Inovação Tecnologica em Saúde

Data

2015

Palavras-chave

Pós-descarga

Espectroscopia de emissão óptica

Espectrometria de massa quadrupolar

Citação
Resumo

Abstract

URI https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/29544
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