Estudo de deposição de filmes finos em plasmas de Ar/Ar-H2 em regiões de pós-descarga de catodo oco
Autores | Silva, Bruno Felipe Costa da; Santos, Edson José da Costa; Almeida, Edalmy Oliveira de; Guerra, Paulo Victor de Azevedo; Hékis, Hélio Roberto; Coutinho, Karilany Dantas; Alves Júnior, Clodomiro; Guerra Neto, Custódio Leopoldino de Brito | |
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Editor | Revista Brasileira de Inovação Tecnologica em Saúde | |
Data | 2015 | |
Palavras-chave | Pós-descarga Espectroscopia de emissão óptica Espectrometria de massa quadrupolar | |
Citação | ||
Resumo | ||
Abstract | ||
URI | https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/29544 |
Coleções | CT - DEB - Artigos publicados em periódicos |
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