Estudo de deposição de filmes finos em plasmas de Ar/Ar-H2 em regiões de pós-descarga de catodo oco

Autores		Silva, Bruno Felipe Costa da; Santos, Edson José da Costa; Almeida, Edalmy Oliveira de; Guerra, Paulo Victor de Azevedo; Hékis, Hélio Roberto; Coutinho, Karilany Dantas; Alves Júnior, Clodomiro; Guerra Neto, Custódio Leopoldino de Brito
Editor		Revista Brasileira de Inovação Tecnologica em Saúde
Data		2015
Palavras-chave		Pós-descarga Espectroscopia de emissão óptica Espectrometria de massa quadrupolar
Citação		SILVA, B. F. C.; SANTOS, E. J. C.; ALMEIDA, E.O. ; GUERRA, P.V.A.; HEKIS, H. R.; COUTINHO, K. D.; ALVES JUNIOR, C.; GUERRA NETO, C. L. B.. Estudo de deposição de filmes finos em plasmas de Ar/Ar-H2 em regiões de pós-descarga de catodo oco. Revista Brasileira de Inovação Tecnológica em Saúde, v. 5, p. 1, 2015. Disponível em: https://periodicos.ufrn.br/reb/article/view/7253. Acesso em: 10 jul. 2020. https://doi.org/10.18816/r-bits.v5i2.7253
Resumo
Abstract
URI		https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/29544